Khoảng cuối thế kỷ thứ 8 đầu thế kỷ thứ 9, người Chăm xây dựng nhóm đền tháp này với mục đích để thờ vị thần Shiva - là một trong những vị thần Ấn Độ giáo được sùng bái và tôn kính.
Thế kỷ 15, xây dựng thêm một số đền thờ với kiến trúc đơn giản để thờ công chúa Po Sha Inư. Công chúa Po Sha Inư (con vua Para Chanh) là người có tài đức và phép ứng xử nên được người Chăm đương thời yêu quý.
Năm 1992-1995, những cuộc khai quật khảo cổ tại nơi này đã phát hiện ra nhiều nền móng của những ngôi đền bị sụp đổ và bị vùi lấp hàng trăm năm nay, cùng với gạch ngói và một số hiện vật trong lòng các đền tháp có niên đại từ thế kỷ 15. Từ đây tháp có tên gọi là Po Sah Inư.
Từ năm 1990 đến năm 2000, di tích được chính quyền tỉnh Bình Thuận tu bổ, tôn tạo.
Năm 1991, di tích này được Việt Nam xếp hạng di tích kiến trúc nghệ thuật cấp quốc gia.
